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氦质谱检漏仪

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氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而***漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。大容量历史记录存储，存储记录10000组以上，可按日期、工号、工件号查询测试结果。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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氧捡漏介绍

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氦质谱检漏方法 　根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对部分喷氦气，找出漏孔的位置，但效率较低；氦室法可对大容器检漏，将部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能确定。氦室法检漏效率较高。类型3：不明显的液体泄漏对产品进行液体泄漏测试时，结果可能是产品不存在泄漏，但如果用示踪气体检漏法进行检测，就能够可靠地发现泄漏。对于微小漏孔，可采用累积法，即先用氦室对部分充入氦气，再将检漏仪节流阀关闭，积累一定时间，打开节流阀，观察离子流的变化。这样，检漏灵敏度可提高1～2个数量级。其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法，即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间，利用扩散泵的反流作用，使氦气反流到质谱室而进行检漏。